具有隔离阀门的气体激光器
专利号：03150510 发起人：中国科学院上海光学精密机械研究所 发布时间：2006-9-16 专利类型：发明专利
摘要
| 一种具有隔离阀门的气体激光器，包括激光放电室，其特点是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门，该气体隔离阀门外为气体隔离室，该隔离室有二个出口，出口连接真空泵，出口连接激光混合气体瓶，隔离室另一端为激光腔片，激光放电室还设有气口。本发明具有投资少，更换或清洗腔片方便，运行成本低的优点。 |
| 1.一种具有隔离阀门的气体激光器，包括激光放电室(1)，其特征是在该放电室(1)的两端各设有一气体隔离阀门(2)，该气体隔离阀门 (2)外为气体隔离室(3)，该隔离室(3)有二个出口，出口(5)连接真空泵，出口(6)连接激光混合气体瓶，隔离室(3)另一端为激光腔片(4)和(9)，激光放电室(1)还设有气口(7)。 |
【下载地址】：点击下载 积分：0
