带加热器的真空阀
专利号：03106427 发起人：速睦喜股份有限公司 发布时间：2006-9-13 专利类型：发明专利
摘要
| 带有加热器的真空阀，其中从设置在阀构件上的加热器及温度传感器延伸出的导线不成为阀构件关闭的障碍。在由活塞(21)经杆(16)开闭驱动的阀构件(13)上安装加热器(31)及温度传感器(35)，把从这些加热器(31)及温度传感器(35)延伸出的一次导线(31a，35a)连接在活塞(21)上的端子座(37)上，同时在该端子座(37)和安装在盖体(23)上的连接器(42)之间连接具有伸缩自由的螺旋部(44a)的二次导线(31b，35b)，由该螺旋管(44a)的伸缩吸收伴随上述构件(13)的开闭而产生的一次导线(31a，35a)的位移。 |
| 1.一种带加热器的真空阀，其特征在于，该真空阀具有：具有第1主口及第2主口、连结该两主口的流路及设置在该流路中的环状的阀座的阀壳体；连接于上述阀壳体的气缸；设置在上述阀壳体内并开闭上述阀座的提升阀式的阀构件；前端部与上述阀构件连结、基端部延伸到上述气缸内部的中空的杆；滑动自由地配置在上述气缸的内部并连接于上述杆的基端部的被由流体压力作用驱动的活塞；安装在上述阀构件上的加热器及温度传感器；安装在该活塞上而与该活塞一起位移的端子座；安装在上述气缸的端部上的连接器；分别从上述加热器及温度传感器延伸出的、贯通杆的内部后顶端与上述端子座连接的加热器用一次导线及传感器用一次导线；一端通过上述端子座分别与加热器用一次导线及传感器用一次导线连接、同时另一端与上述连接器连接的、中间具有伸缩自由的螺旋部的加热器用二次导线及传感器用二次导线。 |
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