手动/气动组合截止阀
专利号：200410005821 发起人：应用材料有限公司 发布时间：2006-8-26 专利类型：发明专利
摘要
| 一种手动/气动组合截止阀(11)。所述阀包括一个壳体(13)；设置在所述壳体中并且具有一个流体入口(19)和一个流体出口(21)的一个阀腔(17)；一个隔膜(23)；一个阀座(25)；一个气动致动器(29)，其适于将所述隔膜由第一位置移动至流第二位置，在所述第一位置，所述隔膜和所述阀座在所述流体入口和所述流体出口之间形成密封，在所述第二位置时，所述流体入口和所述流体出口处于连通状态；以及手柄(31)，适于使用所述致动器，将所述隔膜手动地由所述第二位置移动至所述第一位置，不管是否出现气动控制信号。所述阀通过将手动阀和气动阀的功能组合到一个元件中，而使工艺流体控制装置的长度缩短，并因此缩短流体控制板的尺寸。 |
| 1.一种压力补偿质量流量控制器，所述质量流量控制器包括：一个控制阀；一个流量传感器；以及一个压力传感器，其位于所述控制阀的上游，其中所述控制阀基于来自所述流量传感器和所述压力传感器的信号进行操作。 |
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