过滤式温控氦气节流阀
专利号：03254740 发起人：中国科学院武汉物理与数学研究所 发布时间：2006-9-26 专利类型：实用新型
摘要
| 本实用新型公开了一种过滤式温控氦气节流阀，该节流阀由氦气节流管1、电热丝2、密封罩3、温度传感器4、加热电极12、九五料玻璃管6、出气口7、进气口8、不锈钢管10、镍片11、法兰13、五号玻璃管9和恒温控制器5组成，是利用石英玻璃对氦气具有选择渗透性的特点，制成过滤式氦气节流阀，通过控制石英玻璃的温度来调节氦气的流速和流量。与现有技术相比，在使用本实用新型时，对真空预抽系统要求大大降低，可节约大量人力和物力，不但对气瓶中的氦气的纯度要求较低，而且充入系统的氦气纯度也较高，此外，使用这种节流阀，操作技术简单，充气速率和充气量容易精确控制。 |
| 1、一种过滤式温控氦气节流阀，其特征在于，该节流阀由氦气节流管(1)、电热丝(2)、密封罩(3)、温度传感器(4)、加热电极(12)、九五料玻璃管(6)、出气口(7)、进气口(8)、不锈钢管(10)、镍片 (11)、法兰(13)、五号玻璃管(9)和恒温控制器(5)组成；其中法兰(13)连接圆筒型不锈钢管(10)，在不锈钢管(10)上密封连接五号玻璃管(9)，再熔接九五料玻璃管(6)，然后熔接用石英玻璃制成的氦气节流管(1)，其末端封闭，在氦气节流管(1)外径1～3毫米处环绕电热丝(2)，再套上密封罩(3)，密封罩(3)熔接固定在九五料玻璃管(6)的外表面，在密封罩(3)上开有出气口(7)和进气口(8)，电热丝(2)的两端分别通过镍片(11)与加热电极(12)连在一起，两根加热电极(12)分别密封穿过密封罩(3)，露出密封罩 (3)的两根加热电极(12)与恒温控制器(5)相连，温度传感器(4) 密封穿过密封罩(3)，与恒温控制器(5)相连。 |
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