具有隔离阀门的气体激光器
专利号:03150510 发起人:中国科学院上海光学精密机械研究所 发布时间:2006-9-16 专利类型:发明专利
摘要
一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室,其特点是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门,该气体隔离阀门外为气体隔离室,该隔离室有二个出口,出口连接真空泵,出口连接激光混合气体瓶,隔离室另一端为激光腔片,激光放电室还设有气口。本发明具有投资少,更换或清洗腔片方便,运行成本低的优点。 |
1.一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室(1),其特征是在该放电室(1)的两端各设有一气体隔离阀门(2),该气体隔离阀门 (2)外为气体隔离室(3),该隔离室(3)有二个出口,出口(5)连接真空泵,出口(6)连接激光混合气体瓶,隔离室(3)另一端为激光腔片(4)和(9),激光放电室(1)还设有气口(7)。 |
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