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矩形真空插板阀

专利号:200310116898  发起人:中国科学院电工研究所  发布时间:2006-8-30  专利类型:发明专利
 

摘要 
 一种矩形真空插板阀,使用在半导体行业中的真空与大气的管路之间,用于阻隔或打通所输送的电子元器件,它是由阀体外壳(14)、阀门轴(1)及阀体(17)所组成,其特征是在阀门轴(1)的下部安装有阀体(17)及矩形阀板(7),当转动把手(13)带动阀门轴(1)转动,在阀门轴(1)的下部半圆偏心槽(B)的作用下,使矩形阀板(7)向左位移,而封堵住要封闭的矩形通道口,当反向转动把手(13)并上拉把手(13)便可打开被封闭的矩形通道口。本发明操作简单、结构简单、密封好、另件的通过率较好、可靠性高。
  主权项  
  1、一种矩形真空插板阀是由阀体外壳(14)、安装有操作把手(13) 的阀门轴(1)及阀体(17)所组成,其特征是上述阀门轴(1)的上部是通过阀体外壳(14)的上孔及密封圈(18)、垫圈(4)、压盖(2) 及细钉(8)安装在阀体外壳(14)上,在上述阀门轴(1)的下部开有定位槽(A),通过定位螺钉(16)安装有阀体(17),同时在阀体 (17)的左侧通过弹簧(10)、垫圈(11)及螺钉(12)安装有矩形阀板(7),在阀板(7)的外侧安装有密封圈(5),并通过压板(6) 及细钉(9)来固定该密封圈(5),同时在上述阀门轴(1)的下部还设有半圆偏心槽(B),当顺时针转动把手(13)时,在半圆偏心槽 (B)段及弹簧(10)的作用下能使阀体(17)和阀板(7)之间产生相对移动和复位,使阀板(7)向左移动使固定在阀板(7)上的密封圈(5)压紧要密封矩形通道口,而达到阀体两侧封闭的作用。


 
 
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