为了提高压电阀门的流量和动态性能，使其适用于微推进系统，本文研究了一种基于MEMS工艺制造的阀芯阀座密封副的压电阀门.采用MEMS工艺制作了硅片阀芯阀座，使阀门整体结构简单紧凑，获得了良好的密封效果（在阀门入口气压为1MPa的 情况 下泄漏率小于0.001 mL/min），并使阀门达到了较大的流量.在入口气压大于0.4MPa，压电堆所施加的电压为200 V时，阀门流量均超过3 000 mL/min，满足微推进系统的要求，避免了位移放大机构.在阀门的驱动部分，设计了一种新型的柔性铰链机构，其中的“T”形架实现了阀门的常闭功能，“双弹簧”结构实现了对密封副和压电堆的同时预紧，保证了阀门具备较好的动态性能.